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随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400～450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。
复合耐磨板由低碳钢板和合金耐磨层两部分组成，合金耐磨层一般为总厚度的1/3~1/2。工作时由基体提供抵抗外力的强度、韧性和塑性等综合性能，由合金耐磨层提供满足指定工况需求的耐磨和耐热性能。
复合耐磨板的合金耐磨层和基板之间是完全冶金结合。通过专用设备，采用自动焊接工艺，将高硬度自保护合金焊丝或合金粉均匀地焊接在基板上，复合层数一层至两层以至多层，复合过程中由于合金收缩比不同，出现均匀横向裂纹，这是耐磨钢板的显著特点。
合金耐磨层主要以铬合金为主，同时还添加锰、钼、铌、镍、硼等其它合金成份，金相组织中碳化物呈纤维状分布，纤维方向与表面垂直。碳化物显硬度可以达到HV1700-2000以上，表面硬度可达到HRC58-65。合金碳化物在高温下有很强的稳定性，保持较高的硬度，同时还具有很好的抗氧化性能，在500℃以内完全正常使用。
双金属复合耐磨钢板 是在普通钢板(Q235(A3)或耐热钢板(15CrMo、12Cr1MoV等)、不锈钢板上堆焊耐形成以体积分数达到50%以上Cr7C3碳化物为主耐磨层。它具有高耐磨性、耐冲击、可变形和可焊接等性能特性，可像钢板一样直接进行卷板变形、切割和打孔等工艺过程，加工成耐磨部件。
与众多耐磨材料相比，耐磨复合钢板有其不可替代的显著特点：
1、高耐磨性
合金层的化学成分中碳含量达4～5%，铬含量高达25～30%，其金相组织中Cr7C3碳化物的体积分数达到50%以上，宏观硬度为HRC56～62，碳化铬的硬度为HV1400～1800，高于沙石中石英的硬度HV800～1200。由于碳化物成于磨损方向相垂直分布，即使与同成分和硬度的铸造合金相比较，耐磨性能提高一倍以上。与几种典型的材料耐磨性对比如下：
(1)与低碳钢;20～25：1
(2)与高锰钢;5～10：1
(3)与工具钢;5～10：1
(4)与铸态高铬铸铁;1.5～2.5：1
2、良好的耐冲击性
③ 焊接电流不宜过大，采用快速焊接，直线运条。多层多道焊时控制好层间温度，防止过热。
④ Ni3.5%钢板厚度在25mm以上时，要在125℃以上预热，Ni9%钢不预热。
⑤ Ni3.5%钢和铁素体型双金属耐磨板当因板厚或其他因素产生焊接残余应力时，应考虑进行600~650℃的热处理;Ni9%钢和奥氏体双金属耐磨板焊后一般不进行应力热处理。
⑥ 减少应力集中。防止碰伤材料，若已碰伤应打磨修理;不得随意引弧，可在焊缝或坡口内引弧，但引弧处应重熔，填满弧坑;焊缝成形应良好，避免咬边;焊缝表面应圆滑向母材过渡;纵、环焊缝、接管、人孔处的角焊缝必须全焊透;当环缝不得不采用残留衬环进行单面焊时，应特别注意衬环的装配质量，并在装到内壁上后，将衬环本身的对接焊缝全焊透;去除装配用定位铁和楔子后，留在焊件上的焊疤必须进行焊补并打磨光滑，还要进行MT检查，确认没有表面裂纹。返修焊补工艺的制定及施焊应特别严格控制，尽量避免大面积的焊补。